TOF SIMS-5
TOF SIMS for Surface Analsysi, Depth Profile, sims image (2D & 3D) & 3D analysis
| detection of all elements |
| isotope sensitive |
| chemical information via molecules, fragments, clusters |
| surface and depth analysis |
| high lateral and depth resolution : < 70nm |
| low detection limit : ppm-ppb |
| Extended Dynamic Range (EDR) |
| Ar Cluser source for Organic Depth Profile |
Application
TOF SIMS 는 특히 나노분석, 미량분석, 무기물 및 유기물, 부도체 분석등에서 탁월하여,
Bio-material, polymer, glass, 반도체, metal, ceramic, 이차 전지 등 의 다양한 분야의 시료를 다루고 있다.